26亿台! ASML新光刻机备战:英特尔锁定2nm制程冲击

2022-07-01 19:40:41      

aoa体育官网,AOA体育平台APP在线酷炫新品第一时间免费试用,多位优质人才分享自己独特的人生经历。来新浪公测,体验各领域最前沿、最有趣、最有趣的产品~!下载客户端,享受专属福利!

aoa体育官网,AOA体育平台APP在线对于芯片厂商来说,光刻机至关重要,ASML也在积极布局新技术。据外媒报道,截至2022年第一季度,ASML已出货136套EUV系统,已曝光约7000万片晶圆。

aoa体育官网,AOA体育平台APP在线按照官方的说法,EUV光刻机系统新型号NXE:3600D将能够实现93%的可用性,这将使其更接近DUV光刻机(95%的可用性)。

aoa体育官网,AOA体育平台APP在线数据显示,NXE:3600D系统每小时可生产160片晶圆(wph),速度为30mJ/cm,比NXE:3400C高出18%。两个 NXE 正在开发中:3800E 系统最初将以 30mJ/cm 的速度提供超过 195wph 的功率,随着吞吐量的升级,将达到 220wph。

据报道,NXE:3600E在像差、重叠和吞吐量方面将有渐进的光学改进,在0.33 NA的EUV光刻机领域,ASML路线图包括引入NXE,吞吐量约为220wph。 2025:4000F。

对于0.55 NA的光刻机,需要更新的不仅仅是光刻机系统。它还需要与光掩模、光刻胶叠层和图案转移工艺齐头并进,以使新的器件应用成为可能。

根据 ASML 在其第一季度财务会议上披露的数据,该公司的目标是在 2022 年出货 55 台 EUV 系统,到 2025 年实现(最多)90 台工具的计划。ASML 还承认,90 台可能超过实际需求2025 年,尽管他们将其描述为满足 2030 年 1 万亿美元半导体行业需求的巨大努力。

根据此前的说法,ASML 正在研发一种新的光刻机,价值高达 4 亿美元(约合人民币 26 亿元),双层巴士很大,重量超过 200 吨。样机预计2023年上半年完成,2025年首次投入使用,2026-2030年主要出货。

本机应参考High-NA EXE:5200(0.55NA)。英特尔是世界上第一家下订单的公司。所谓High-NA也是高数值孔径,2nm以后的节点都得靠它来实现。

11183快递查询网

头头体育平台APP标准版下载,头头体育官方网站app